Установка для электронно-лучевого напыления в вакууме

Год внедрения1999г.
Заказчик работКорейский институт науки и технологии, г. Сеул

Система управления уникальной установкой электронно-лучевого напыления изделий
в вакуумной камере разработана на контроллере OMRON С200НG.
Высокоточное управление технологическими механизмами
обеспечивается применением инверторных частотных регуляторов
типа 3G3FV.
Контроль параметров и работы оборудования обеспечивает
система визуализации и регистрации на ПЭВМ.